ASML在光刻机领域几乎是巨无霸的存在,而他们对于与中国企业合作也是非常欢迎,无奈一些关键细节上被美国卡死。 中国需要光刻机,尤其是支持先进制程的高端光刻机,特别是 EUV (极紫外光源)光刻机,不过ASML对这个机器是不放行的,主要是美国强制要求。 EUV光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品,由于采用了极紫外线,它的最小工业节点到了 22nm-7nm,可以说是世界上最先进的光刻机设备——而这种设备,只有ASML能造出来。 2018年4月,中芯国际向ASML订购了一台 EUV 光刻机,价值1.2亿美元(约合人民币8亿元),预计2019年年初交货。后来此事被报道后,ASML回应称,对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁,且向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。当时,荷兰政府的确向 ASML 发放了出口许可证。 不过,最终这个交易也没有形成,根据知情人士的说法,美国立即盯上了这笔交易—
ASML EUV光刻机被美国卡死:中国企业出多少钱都买不回
2020-11-10 09:45:00来源: TechWeb
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