光刻机产业链一员，茂莱光学能否实现精密光学持续突破？

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美国禁令正式生效，华为已陷入芯片断供的艰难处境。而近日，中科院院长白春礼表态称：“我们把美国卡脖子清单变成了科研任务清单，将把光刻机放在我们重点关注领域”。光刻机是芯片光刻工艺的核心设备，价值含量和技术要求极高。一台光刻机包含上万个零部件，其中涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。荷兰ASML之所以能独霸高端光刻机市场，关键因素之一就是光刻产业链的贯通。因此，虽然上海微电子是国内光刻机最前沿公司，其目前最先进的光刻机制程可达到90nm，但是光刻机的国产化攻坚不仅仅需要上海微电子的设计和总体集成，还需要国内产业链各环节的共同努力。作为光刻机产业链中的一员，茂莱光学目前生产的半导体光学透镜被应用在光刻机光学系统中的耦合、中继照明模块，是光刻机实现光线均匀性的关键模块，为提高光刻机国产化率提供了必要支撑。其实，半导体透镜只是茂莱光学众多产品中的一个，作为精密光学综合解决方案提供商，茂莱光学的主要产品包括精密光学器件、高