中微公司发布用于深紫外 LED 量产的 MOCVD设备 Prismo HiT3

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IT之家7月30日消息 中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称 “中微公司”）今日宣布推出 Prismo HiT3 MOCVD 设备，主要用于深紫外 LED 量产。中微 Prismo 系列 MOCVD 设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光 LED 制造商，IT之家获悉，此次推出的 Prismo HiT3是中微 Prismo 系列 MOCVD 设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备，反应腔最高温度可达 1400 度，具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计，单炉可生长 18 片 2 英寸外延晶片，并可延伸到生长 4 英寸晶片。中微公司 Prismo HiT3 MOCVD 设备早期的客户包括国内领先的深紫外 LED 制造商马鞍山杰生半导体有限公司，该公司的深紫外 LED 在家用、医疗和科研设备等领域有广泛应用。深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消毒杀菌领域。它通