晶瑞电材：ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动

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12 月 16 日消息，集微网消息，近日，晶瑞电材在接受机构调研时表示，公司高端 KrF（248）光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。目前 ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动，已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置，其中 ASML1900Gi 型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。据悉，晶瑞电材近期已购得 KrF 光刻机一台，可用于 KrF 光刻胶的曝光测试，同时公司 KrF 光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，公司已经购得用于负胶、g 线、i 线、ArF 等 4 台光刻机，再加之此次购得的 KrF 光刻机，公司已经到位 5 台光刻机。晶瑞电材指出，公司 3 万吨电子级硫酸产线已于今年上半年顺利通车，经试生产调试，产品金属杂质含量低于 10ppt，达到 G5 级水平，品质已达全球同行业第一梯队水平，产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技