在应用业务中，ASML在第四季度向客户交付了第一台YieldStar 385系统。YieldStar 385具备最新的量测技术，提高量测速度和准确度，可以满足3纳米制程的要求。 与以前的系统相比，主要的增强功能包括更快的工作台和更快的波长切换，这可以实现高精度的套准测量和使用多个波长的设备匹配。（财联社）
ASML交付第一台YieldStar 385系统，可满足3纳米制程要求
2021-01-20 16:04:33来源: 36氪
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