阿斯麦高数值孔径极紫外光刻NXE:5000系列设计已基本完成

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【TechWeb】12月29日消息，据国外媒体报道，阿斯麦是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商，在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫外光刻机之后，他们还在研发更先进、效率更高的极紫外光刻机。 阿斯麦极紫外光刻机 在10月14日发布的三季度财报中，阿斯麦就披露他们新一代的极紫外光刻机TWINSCAN NXE:3600D，计划在明年年中开始出货，生产效率较目前的产品提升18%。 而从外媒的报道来看，除了NXE:3600D，阿斯麦还在研发高数值孔径的极紫外光刻机NXE:5000系列，设计已经基本完成。 外媒在报道中也表示，虽然阿斯麦NXE:5000高数值孔径极紫外光刻机的设计已基本完成，但商用还需时日，预计在2022年开始商用。 作为一款高数值孔径的极紫外光刻机，NXE:5000系列的数值孔径，将提高到0.55，阿斯麦目前已推出的TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫