慕尼黑2024年3月19日 /美通社/ -- 半导体制造业提供温度管理解决方案的领导者ERS electronic推出了Luminex 产品线的首台机器,该机器采用尖端的光学拆键合技术,适用于最大600 x 600 毫米的面板和不同尺寸的晶圆。 Luminex: The semi-automatic machine is the first of ERS’s Luminex product line, featuring its PhotoThermal debonding technology. 光学拆键合是一种无外力的拆键合方法:通过使用精准可控的闪光灯将载体与基板分离。光学拆键合工艺的关键部件是带有光吸收层(CLAL)的玻璃载板,它能将灯的光能转化为热能,从而顺利实现分离。有了 CLAL,就不再需要对载板进行涂层和清洁,从而减少了工艺步骤以及相关复杂程序和成本,与传统的激光拆键合相比,可
ERS electronic 推出其 Luminex 产品线的首台使用了开创性光学拆键合技术的半自动设备
2024-03-19 02:13:00来源: 美通社
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