给半导体检查身体的设备，和光刻机一样难造？

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光刻机、刻蚀机对造芯片的重要性已不言而喻，但若没有质量控制设备，同样无法造芯。就像医疗领域的 CT、彩超、生化分析仪等辅助检测身体状况的设备一样，半导体质量控制设备也是给芯片“体检”的工具，统称半导体检测设备。今年 5 月 19 日，中科飞测科创板上市，其主要业务便是国产化率只有 2% 的半导体检测和量测设备 [1]，上市首日较发行价涨 189.62% 的成绩，预示着半导体质量控制设备将不再是隐形赛道。在本文中，你将了解到：半导体质量控制设备概念具体指代什么，半导体质量控制设备国内外整体发展情况，国产设备商的出路。付斌丨作者李拓丨编辑1、易于混淆的概念半导体检测作为半导体质量控制较为广义的表达方式，业内指称较为混乱。严格意义上，半导体质量控制分为检测、量测、测试三种工艺，所指代的技术也有所不同：检测（Inspection） ：指对晶圆表面或电路的特征性结构缺陷进行检测，防止影响芯片成品的工艺性能，比如颗粒污染、表面划伤、开短路等