英特尔首台EUV光刻机已开机 就在爱尔兰Fab34工厂

图片地址：http://s1.techweb.com.cn/static/img/20180614.png

Intel目前的12代、13代酷睿使用的还是Intel 7工艺，明年的14代酷睿Meteor Lake将首发Intel 4工艺，这也是Intel首次使用EUV光刻的工艺，SRAM晶体管规模几乎接近台积电3nm工艺。日前Intel宣布了一个重要里程碑，首台EUV光刻机已经开机并产生13.5nm波长的光。Intel的EUV工艺会首先在爱尔兰的Fab34工厂生产，今年初首台EUV光刻机就到货了，但是安装过程非常费时费力，之前光是建造厂商及准备设施就用了18个月。整个EUV光刻机有超过10万零件组成，3000根电缆，4万多颗螺丝，软管长度超过1英里，安装之后也需要复杂的调试过程。本周，在Fab34工厂中，Intel正式启动了EUV光刻机，25KW的激光器在一系列复杂的操作之后成功激发了13.5nm波长的EUV光，这就是生产最先进工艺的基础。Intel表示，这一重要时刻为Intel 4工艺开辟了道路——Intel CEO基辛格之前多次表示