【TechWeb】11月17日消息，据国外媒体报道，光刻机制造商阿斯麦的CEO兼总裁彼得·维尼克(Peter Wennink)，在本周前往了韩国，出席华城半导体集群的动工仪式。而外媒的报道显示，在韩国期间，除了与韩国相关的业务，彼得·维尼克还透露了他们下一代极紫外光刻机，也就是多家客户期待的高数值孔径极紫外光刻机的消息。从外媒的报道来看，彼得·维尼克是在当地时间周二于首尔的一场新闻发布会上，透露高数值孔径极紫外光刻机的消息的，他透露将在2024年开始出货。此外，彼得·维尼克在会上还透露，就长期而言，他们计划每年生产20台高数值孔径极紫外光刻机。阿斯麦官网公布的消息显示，他们的高数值孔径极紫外光刻机，将命名为EXE系列，数值孔径将由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工艺。从阿斯麦此前在财报中披露的消息来看，他们的EXE系列高数值孔径极紫外光刻机，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200两
阿斯麦CEO透露高数值孔径极紫外光刻机2024年开始出货
2022-11-17 17:19:28来源: TechWeb
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