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电子束量测重大进展,东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)正式交付国内客户

2022-04-01 18:43:26来源: IT之家

IT之家 4 月 1 日消息,据东方晶源发布,近日,东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)出机国内集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自 2021 年 6 月首台 12 英寸 CD-SEM 出机后,东方晶源在电子束量测领域再次取得重大进展。东方晶源首台 8 英寸关键尺寸量测设备(型号:SEpA-c300)基于东方晶源 12 英寸关键尺寸量测设备的技术积累,面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺。具有对标 12 英寸主流设备的成像分辨率、百微米级大视场成像能力、多样化量测算法,可以满足客户对不同产品线、多种应用场景下的量测需求。以关键尺寸量测设备为例,目前市场上流通的 8 英寸设备绝大多数是二手翻新设备,具有性能指标不高及设备稳定性差等问题。东方晶源旨在解决些问题。公开信息显示,东方晶源是国内电子束检测、量测设备领先厂商,曾承担国家 02 重大专项 — 电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过;首台

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