南大光电：公司已建成两条 ArF 光刻胶生产线，合计产能 25 吨

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集微网消息 3 月 25 日，南大光电在投资者互动平台就投资者关于“193nm 光刻胶项目第二条生产线是否建设完毕，是否进行投产，如还未完工预计何时完工”等问询作出回应称，公司已建成两条 ArF 光刻胶生产线，合计产能 25 吨。此外，就宁波芯港小镇南大三期项目建设进度，南大光电回应称该工厂已经建成。据了解，南大光电多年来专注于关键半导体材料的技术研发，凭借多年的自主研发和实践积累，掌握了 MO 源、高纯 ALD / CVD 前驱体、氢类电子特气、含氟电子特气、ArF 光刻胶等关键电子材料的核心技术，先后承担了国家 863 计划 MO 源全系列产品产业化项目及多项国家“02 专项”项目，攻克了多个技术难题。半导体材料的研发，需要高端技术人才及行业专家的引领和驱动。本次激励计划授予价格有利于公司吸引、留住更多优秀人才，持续激发企业创新创效的内生长加速度，全面塑造人才引领产业、产业汇聚人才的企业生态文化。在 MO 源方面，公司除了在