韩国光刻胶供应商东进世美肯 (Dongjin Semichem) 表示,近日通过了三星电子的 EUV 光刻胶可靠性测试(合格)。这款光刻胶为双方合作研发,打破韩国 EUV 光刻胶完全依赖海外供应商的局面,最快有望明年上半年向产线批量供应。据 ETNews 报道,业内人士表示,“东进世美肯在其位于京畿道的华城工厂开发了 EUV 光刻胶,并在三星电子的华城 EUV 生产线进行了测试,最终获得了资格。”并补充道:“两家公司的合作,使得 EUV 光刻胶能够以高技术水平快速开发。”据了解,虽然 KrF 和 ArF 氟化物工艺的光刻胶在韩国已经大量生产,但没有能够绘制更精细电路的 EUV 光刻胶。这是因为开发非常困难,韩国国内使用的 EUV 光刻胶大部分是从日本进口的。2019 年日本出台出口限制措施后,东进世美肯开始利用自己的基础设施,如现有的氟化氩曝光机和比利时半导体研究所(IMEC)的 EUV 设备,将 EUV 光刻胶本土化。同时,三
韩国公司开发首款 EUV 光刻胶通过三星可靠性测试:打破完全依赖海外供应商的局面
2021-12-21 15:12:53来源: IT之家
关注公众号
赞
你的鼓励是对作者的最大支持
- 厚度未达预期,消息称三星考虑推迟发布 Galaxy Z Fold6 FE 可折叠手机2024-05-13 17:49:09
- 消息称三星电子 8 层堆叠 HBM3E 内存尚未正式通过英伟达验证2024-05-13 18:21:47
- 腾讯手游《PUBG Mobile》宣布支持三星 Galaxy S24 / S23 / Z Fold 5 系列手机 120…2024-05-13 07:11:48
- 博主自制三星 Galaxy Z Fold6 折叠屏手机示意图,基于真实数据打造2024-05-12 09:42:52
- 三星 AI 推理芯片 Mach-1 即将原型试产,有望基于 4nm 工艺2024-05-10 09:32:06
- 三星电机加速玻璃基板开发,计划三季度完成中试线建设2024-05-09 09:32:53
- 三星 Galaxy Z Fold6 手机新曝料:外屏宽度增 5%,圆角变直角2024-05-08 10:30:48
- 三星 Galaxy Watch 新专利获批:使用生成式 AI,更准确监测心房颤动2024-05-08 10:53:32
- 消息称三星组建百人工程师团队,争夺英伟达下一代人工智能芯片订单2024-05-07 19:44:43
- 三星宣布即将量产首款 3nm Exynos 芯片,或将用于 Galaxy S25 系列手机2024-05-07 21:41:49