韩国开建超纯水示范工厂：每天生产 2400 吨，用于半导体芯片制造

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IT之家 11 月 17 日消息，根据韩国媒体 BusinessKorea 报道，韩国环境部于 11 月 16 日在 SK Silitron 工厂举办了超纯水示范工厂的奠基仪式。新工厂将验证工业用超纯水制造相关的各项技术，其中包含用于有机物去除的 UV 氧化系统，用于去除溶解氧的脱气系统，以及相关设备和施工方式。新工厂建在半导体制造商的工厂内，在技术验证期间也能供应超纯水，韩国计划在 2025 年之前完成技术验证，目的是减少对于外国技术的依赖。这家工厂的目标是每天生产 2400 吨超纯水，此外远期目标是将生产和运营过程中进口设备的使用率降低至 0%，技术和设备采购方面的进口依赖程度降低到 40%。IT之家了解到，超纯水是半导体芯片制造过程中必不可少的，台积电每天需要用到大量的超纯水对晶圆表面进行清洁。这种水内部的有机物含量需要低于 0.01ppm（百万分之一）。此前，韩国一直依赖从法国和日本进口超纯水。外媒预计，与电子、医药、钢