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国产光刻机第一股:华卓精科科创板过会,与清华共享专利

2021-09-17 19:22:02来源: IT之家

芯东西 9 月 17 日报道,今天,北京华卓精科科技股份有限公司(以下简称“华卓精科“)于科创板成功过会。华卓精科主营业务为超精密测控设备,产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合设备、激光退火设备等,主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。光刻机工件台是光刻机的 3 大核心部件之一,华卓精科是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业,也是国内光刻机龙头上海微电子的供应商。目前,华卓精科的 DWS 系列双工件台可用于 65nm 及以上节点的 I-line、KrF 和 ArF 干式光刻机,但尚未通过上海微电子的验收。今年 7 月 29 日,华卓精科的上市委会议结果为暂缓审议,上市委现场询问了有关其光刻机双工件台的产业化前景、其技术研发是否依赖清华大学、以及 2019 年和 2020 年第四季度的大额销售收入等事项。报告期内,华卓精科营收呈递增趋势,2018 年、2019 年、2020