中微公司发布用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备Prismo UniMax

上海2021年6月17日 /美通社/ -- 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，股票代码：688012）今日宣布推出专为高性能Mini LED量产而设计的Prismo UniMaxTM MOCVD设备，该设备在帮助LED芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。 中微公司Prismo系列MOCVD设备已进入全球大多数领先的氮化镓基蓝绿光LED制造商，此次推出的Prismo UniMaxTM是中微公司Prismo系列MOCVD设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔。Prismo UniMaxTM配置了创新的多区温度补偿加热系统，具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。该设备还具有其他一些新颖特征，如喷淋头的优化设计实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升产能并降低成本。Prismo UniMaxTM MOCVD设备专为高产量而设计，具有业内领先的加工容