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上海新阳顺利购得 ASML-1400 光刻机且顺利交付,只待后续调试安装

2021-03-08 17:58:43来源: IT之家

IT之家 3 月 8 日消息 上海新阳今日发布公告:公布了最新的 ASML-1400 光刻机有关进展。经各方积极协商、运作,ASML-1400 光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司场地,后续将进行安装调试等相关工作。公司采购的 ASML 干法光刻机设备顺利交付,对加快 193nmArF 干法光刻胶产品开发进度有积极影响。据介绍,上海新阳半导体材料股份有限公司自立项开发 193nmArF 干法光刻胶的研发及产业化项目以来,委托购买了 ASML-1400 光刻机等核心设备,并于今日运抵国内。▲ 图文无关官方对该公司的影响及风险提示:1、公司采购的 ASML 干法光刻机设备顺利交付,对加快 193nm ArF 干法光刻胶产品开发进度有积极影响,有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力,加快落实公司发展战略,提高公司抗风险能力和可持续发展能力。 2、该光刻机尚须经过装机、调试等相关

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标签: 光刻机